Design and fabrication of 'SI'O IND.2'/'SI IND.3''N IND.4' integrated-optics waveguides on silicon substrates

• Autor(es): Gonçalves Neto, Luiz
• Data: 2002
• Origem: Oasisbr
• Assunto(s): ÓPTICA ELETRÔNICA
• Tipo de Documento: Artigo científico
• Idioma: Inglês