Influence of Xe ion-bombardment on the substrate microstructure and the residual stresses of TiN coatings deposited by plasma reactive sputtering onto AISI 4140 steel

• Autor(es): Pinto, Haroldo Cavalcanti
• Data: 2014
• Origem: Oasisbr
• Assunto(s): PLASMA (MICROELETRÔNICA)
• Tipo de Documento: Artigo científico
• Idioma: Inglês