Circuitos integrados de microondas usando metalizaãço de cobre ou de cromo-ouro em subsolo de alumina

• Autor(es): Regueira, Marcos
• Data: 1981
• Identificador Persistente: https://hdl.handle.net/20.500.12733/1577920
• Origem: Oasisbr
• Assunto(s): Circuitos integrados de microondas; Metalização - Processos; Alumina
• Tipo de Documento: Dissertação de mestrado
• Idioma: Português

Descrição

Orientador: Attilio Jose Giarola

Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia de Campinas

Resumo: Neste trabalho foram apresentadas duas tecnologias possíveis de serem utilizadas na fabricação de microlinhas de transmissão, para integração de circuitos de microondas. A primeira, de uso mais diversificado, é a de evaporação de Cromo e Ouro, e a segunda é a de deposição química de Cobre, de realização mais fácil e barata. Foram construídos circuitos nas duas tecnologias e comparados os resultados, observando-se valores de atenuação ligeiramente menores para os circuitos de Cobre. Por outro lado os circuitos de Cromo-Ouro apresentaram melhor aderência ao substrato de alumina. Este trabalho permitiu a verificação de que a deposição química de Cobre abre novos horizontes para a construção de microlinhas de transmissão como alternativa à evaporação de Cromo-Ouro até agora utilizada mas que se caracteriza como sendo de alto custo.

Abstract: Not informed.

Mestrado

Mestre em Engenharia Elétrica