Author(s): Páscoa, Soraia Sofia Anjos
Date: 2014
Persistent ID: http://hdl.handle.net/10451/15525
Origin: Repositório da Universidade de Lisboa
Subject(s): Silício CZ tipo n; Crown tapered angle; Shouldering area; Tempo de vida; Oxigénio intersticial; Teses de mestrado - 2014
Tese de mestrado em Engenharia da Energia e do Ambiente, apresentada à Universidade de Lisboa, através da Faculdade de Ciências, 2014
Para o propósito desta tese, foram caracterizados quatro lingotes de silício CZ do tipo n com diferentes crown tapered angles e shouldering areas no sentido de compreender o comportamento do oxigénio e defeitos associados na parte superior do lingote e a sua influência no tempo de vida do material. Um lingote de silício CZ do tipo p foi igualmente caracterizado com o intuito de se ter material de referência para comparação. Diferentes tempos de vida foram observados entre as coroas e uma forte relação entre crown tapered angle e concentração e distribuição de oxigénio foi estabelecida. A coroa com maior tapered angle possuí o maior tempo de vida. Pelo contrário, a coroa com menor tapered angle possuí o menor tempo de vida. A qualidade do corpo do cristal pode ser influenciada pela qualidade do topo do lingote no que toca à concentração e distribuição de oxigénio intersticial. Assim, analisando o início do corpo de cada lingote, pode ser possível prever a qualidade do corpo do cristal.
For the purpose of this thesis work, four n-type CZ silicon ingots with different crown tapered angle and shouldering area were characterized in order to understand the oxygen behavior and related defects on ingot top cuts and its influence on material lifetime. A p-type CZ silicon ingot was also characterized in order to have a reference material for comparison. Differences in lifetime between the crowns were observed and a strong correlation between the crown tapered angle and oxygen concentration and distribution was established. The crown with the higher tapered angle has the highest lifetime. In contrast, the crown with the lower crown tapered angle has the lowest lifetime. The crystal body quality can be influenced by the top ingot quality in what concerns the interstitial oxygen concentration and distribution. Thus, analyzing the early body of each ingot, it might be possible to predict the crystal body quality.
