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Caracterização de filmes finos de carbono depositados por PECVD

Orientador: Edmundo da Silva Braga; Dissertação (mestrado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica; Resumo: Neste trabalho é apresentado um estudo sobre a obtenção de filmes finos de carbono por deposição química a partir da fase de vapor assistida por plasma de RF. (RF-PECVD), com posterior caracterização dos mesmos através de diferentes técnicas. Inicialmente são apresentadas car...