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Corrosão anisotropica e formação de superficie nanoestruturada de Si utilizando...

Fischer, Clovis

Orientador: Jacobus Willibrordus Swart, Stanislav Alexandrovich Moshkalev; Tese (doutorado) - Universidade Estadual de Campinas, Faculdade de Engenharia Eletrica e de Computação; Resumo: Este trabalho explora a implementação, caracterização e aplicações do processo tipo BOSCH para corrosão de silício em larga escala (bulk silicon etching ou bulk silicon micromachining) utilizando plasma de alta densidade produz...

Date: 2009   |   Origin: Oasisbr

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