Document details

Influência dos parâmetros de corrosão em filmes de oxinitreto de silício depositados por PECVD para utilização em óptica integrada

Author(s): Pereyra, Inés

Date: 2003

Origin: Oasisbr

Subject(s): DISPOSITIVOS ÓPTICOS; DISPOSITIVOS ÓPTICOS; DISPOSITIVOS ÓPTICOS


Document Type Other
Language Portuguese
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