Detalhes do Documento

Influência dos parâmetros de corrosão em filmes de oxinitreto de silício depositados por PECVD para utilização em óptica integrada

Autor(es): Pereyra, Inés

Data: 2003

Origem: Oasisbr

Assunto(s): DISPOSITIVOS ÓPTICOS; DISPOSITIVOS ÓPTICOS; DISPOSITIVOS ÓPTICOS


Tipo de Documento Outro
Idioma Português
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