Document details

Simulação e visualização dos processos de corrosão anisotrópica do silício para MEMS

Author(s): Paez Carreño, Marcelo Nelson

Date: 2005

Origin: Oasisbr

Subject(s): PROCESSOS DE MICROELETRÔNICA; PROCESSOS DE MICROELETRÔNICA; PROCESSOS DE MICROELETRÔNICA


Document Type Other
Language Portuguese
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