Detalhes do Documento

Simulação e visualização dos processos de corrosão anisotrópica do silício para MEMS

Autor(es): Paez Carreño, Marcelo Nelson

Data: 2005

Origem: Oasisbr

Assunto(s): PROCESSOS DE MICROELETRÔNICA; PROCESSOS DE MICROELETRÔNICA; PROCESSOS DE MICROELETRÔNICA


Tipo de Documento Outro
Idioma Português
facebook logo  linkedin logo  twitter logo 
mendeley logo

Documentos Relacionados

Aerogel de SiO2 crescido por processos a plasma

Paez Carreño, Marcelo Nelson

mais

Data: 2002

Micromotores eletrostáticos obtidos por microusinagem de superfície

Paez Carreño, Marcelo Nelson

mais

Data: 2005