Document details

Estudo da deposição de filmes de Ti e TiN e desenvolvimento do sistema modificado triodo-magnetron-sputtering /

Author(s): Fontana, Luis Cesar

Date: 2012

Origin: Oasisbr

Subject(s): Nitruração; Teses; Filmes finos; Teses; Metalizacao ionica; Teses; Titanio; Metalografia; Teses; Nitruração; Nitruração; Teses; Teses; Filmes finos; Filmes finos; Teses; Teses; Metalizacao ionica; Metalizacao ionica; Teses; Teses; Titanio; Titanio; Metalografia; Metalografia; Teses; Teses


Description

Tese (Doutorado) - Universidade Federal de Santa Catarina, Centro Tecnológico.

Document Type Doctoral thesis
Language Portuguese
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