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Impurities and defects in monocrystalline CZ silicon

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Resumo:Para o propósito desta tese, foram caracterizados quatro lingotes de silício CZ do tipo n com diferentes crown tapered angles e shouldering areas no sentido de compreender o comportamento do oxigénio e defeitos associados na parte superior do lingote e a sua influência no tempo de vida do material. Um lingote de silício CZ do tipo p foi igualmente caracterizado com o intuito de se ter material de referência para comparação. Diferentes tempos de vida foram observados entre as coroas e uma forte relação entre crown tapered angle e concentração e distribuição de oxigénio foi estabelecida. A coroa com maior tapered angle possuí o maior tempo de vida. Pelo contrário, a coroa com menor tapered angle possuí o menor tempo de vida. A qualidade do corpo do cristal pode ser influenciada pela qualidade do topo do lingote no que toca à concentração e distribuição de oxigénio intersticial. Assim, analisando o início do corpo de cada lingote, pode ser possível prever a qualidade do corpo do cristal.
Autores principais:Páscoa, Soraia Sofia Anjos
Assunto:Silício CZ tipo n Crown tapered angle Shouldering area Tempo de vida Oxigénio intersticial Teses de mestrado - 2014
Ano:2014
País:Portugal
Tipo de documento:dissertação de mestrado
Tipo de acesso:acesso aberto
Instituição associada:Universidade de Lisboa
Idioma:inglês
Origem:Repositório da Universidade de Lisboa
Descrição
Resumo:Para o propósito desta tese, foram caracterizados quatro lingotes de silício CZ do tipo n com diferentes crown tapered angles e shouldering areas no sentido de compreender o comportamento do oxigénio e defeitos associados na parte superior do lingote e a sua influência no tempo de vida do material. Um lingote de silício CZ do tipo p foi igualmente caracterizado com o intuito de se ter material de referência para comparação. Diferentes tempos de vida foram observados entre as coroas e uma forte relação entre crown tapered angle e concentração e distribuição de oxigénio foi estabelecida. A coroa com maior tapered angle possuí o maior tempo de vida. Pelo contrário, a coroa com menor tapered angle possuí o menor tempo de vida. A qualidade do corpo do cristal pode ser influenciada pela qualidade do topo do lingote no que toca à concentração e distribuição de oxigénio intersticial. Assim, analisando o início do corpo de cada lingote, pode ser possível prever a qualidade do corpo do cristal.