Publicação
Impurities and defects in monocrystalline CZ silicon
| Resumo: | Para o propósito desta tese, foram caracterizados quatro lingotes de silício CZ do tipo n com diferentes crown tapered angles e shouldering areas no sentido de compreender o comportamento do oxigénio e defeitos associados na parte superior do lingote e a sua influência no tempo de vida do material. Um lingote de silício CZ do tipo p foi igualmente caracterizado com o intuito de se ter material de referência para comparação. Diferentes tempos de vida foram observados entre as coroas e uma forte relação entre crown tapered angle e concentração e distribuição de oxigénio foi estabelecida. A coroa com maior tapered angle possuí o maior tempo de vida. Pelo contrário, a coroa com menor tapered angle possuí o menor tempo de vida. A qualidade do corpo do cristal pode ser influenciada pela qualidade do topo do lingote no que toca à concentração e distribuição de oxigénio intersticial. Assim, analisando o início do corpo de cada lingote, pode ser possível prever a qualidade do corpo do cristal. |
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| Autores principais: | Páscoa, Soraia Sofia Anjos |
| Assunto: | Silício CZ tipo n Crown tapered angle Shouldering area Tempo de vida Oxigénio intersticial Teses de mestrado - 2014 |
| Ano: | 2014 |
| País: | Portugal |
| Tipo de documento: | dissertação de mestrado |
| Tipo de acesso: | acesso aberto |
| Instituição associada: | Universidade de Lisboa |
| Idioma: | inglês |
| Origem: | Repositório da Universidade de Lisboa |
| Resumo: | Para o propósito desta tese, foram caracterizados quatro lingotes de silício CZ do tipo n com diferentes crown tapered angles e shouldering areas no sentido de compreender o comportamento do oxigénio e defeitos associados na parte superior do lingote e a sua influência no tempo de vida do material. Um lingote de silício CZ do tipo p foi igualmente caracterizado com o intuito de se ter material de referência para comparação. Diferentes tempos de vida foram observados entre as coroas e uma forte relação entre crown tapered angle e concentração e distribuição de oxigénio foi estabelecida. A coroa com maior tapered angle possuí o maior tempo de vida. Pelo contrário, a coroa com menor tapered angle possuí o menor tempo de vida. A qualidade do corpo do cristal pode ser influenciada pela qualidade do topo do lingote no que toca à concentração e distribuição de oxigénio intersticial. Assim, analisando o início do corpo de cada lingote, pode ser possível prever a qualidade do corpo do cristal. |
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