Publicação
Hot-wire chemical vapour deposition and characterization of silicon nitride membranes
| Autores principais: | Gonçalves, L. M. |
|---|---|
| Outros Autores: | Alpuim, P.; Filonovich, Sergej; Viseu, T. M. R.; Lanceros-Méndez, S. |
| Assunto: | Silicon Nitride |
| Ano: | 2007 |
| País: | Portugal |
| Tipo de documento: | artigo |
| Tipo de acesso: | acesso aberto |
| Instituição associada: | Universidade do Minho |
| Idioma: | português |
| Origem: | RepositóriUM - Universidade do Minho |
| Descrição não disponível. |